Специалисты Института ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН (Новосибирск) планируют возродить технологический накопительный комплекс (ТНК), сообщил Интерфакс директор ИЯФ академик РАН Павел Логачев.
По его словам, ТНК будет востребован для разработки отечественной технологической цепочки производства микроэлектроники.
«Это будет основной инструмент, который позволит создавать, испытывать и отлаживать технологию так называемых литографов, которые делает, фактически, одна компания в мире», — заявил он.
Логачев отметил, что институт разработал установку еще на рубеже 1980-1990 годов, но ее не запустили из-за развала СССР.
Ученый пояснил, что с технической точки зрения ТНК представляет собой источник синхротронного излучения, корпус для установки, расположенный рядом с заводом «Микрон» в Зеленограде, принадлежит Курчатовскому институту.
«Мы запустим этот комплекс через три года, он будет основным элементом разработки литографа», — пояснил он и отметил, что стоимость проекта составляет примерно полмиллиона рублей.
Логачев также сообщил, что ИЯФ начал разрабатывать ускорительную часть отечественного имплантора для микроэлектроники — устройства, работа по которому ведется совместно с НИИ точного машиностроения (Зеленоград), разрабатывающим систему подготовки и перемещения кремниевых пластин.
Обе технологии являются ключевыми для функционирования микроэлектронной промышленности.